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详细描述
适用： 2～8英寸（硅片）
• 5～150mm（硅块）
• φ15×2800mm（硅芯）
• φ150×2800mm（硅棒）
•操作：全自动/半自动/手动
•设备单元：腐蚀槽、快排清洗槽、溢流槽、
•超声清洗槽、N2切水槽、干燥槽
•清洗液： HF、HNO3、NaOH 、DIW
•设备主体：一般为不锈钢骨架外包PP焊接构成
•槽体设计：一般清洗槽采用劳士领NPP板，酸槽
•PVDF板。干燥槽为SUS316.
•安全门：采用透明PVC板（推拉式或折叠式）
•
附加功能：N2鼓泡、抛动、超声等
联系方式
- 电话： 0512-62872209
- 传真：0512-62872543
- 网站： www.hlcas.com
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