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详细描述
适用：2～8英寸硅片
•操作：全自动/半自动/手动
•处理方式：腐蚀、喷淋、清洗、干燥
•设备单元：腐蚀槽、快排清洗槽、溢流槽
•清洗液： H2SO4、HF、HNO3、SC-1、SC-2、
•NaOH、KOH、DIW
•设备主体：一般为不锈钢骨架外包PP焊接构成
•槽体设计：一般清洗槽采用德国NPP板，酸腐
•蚀槽PVDF板。干燥槽为SUS316
•安全门：采用透明PVC板（推拉式或折叠式）
•
附加功能：N2鼓泡、抛动、超声等
联系方式
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